*****************************************************************
لینک دریافت اسلایدها
اسلاید های درس
فایل 1- مقدمه، فرآیندهای ساخت (آپدیت شد: 1399)
http://s11.picofile.com/file/8393622276/1.pdf.html
فایل 2- پروسه ساخت، مواد مورد استفاده، بسته بندی
http://s1.picofile.com/file/8288385100/2.pdf.html
فایل 3- سنسورها و عملگرهای الکترواستاتیک
http://s8.picofile.com/file/8292032050/3.pdf.html
فایل 4- سنسورها و عملگرهای پیزومقاومتی
فایل 5- سنسورها و عملگرهای پیزوالکتریک
http://s9.picofile.com/file/8296240492/5.pdf.html
فایل 6- میکروفون و رزوناتورها (جدید: 1398)
http://s3.picofile.com/file/8363637350/Acoustic_sensors.pdf.html
******************************************************
کتاب را از لینک زیر دانلود نمایید:
http://s7.picofile.com/file/8237301442/Foundations_of_MEMS_2nd_Edition_Liu_Chan.pdf.html
***************************************************************************
جهت اعتراض میتوانید با ایمیل زیر تقاضای خود را مطرح نمایید
kordrostami.research@gmail.com
جهت دانلود نرم افزار Comsol می توانید به سایت soft98.ir مراجعه کنید.